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磁控溅射M600
磁控溅射M600

品牌：北京维开科技

型号：M600

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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有机CVD
有机CVD

品牌：苏州凯瑞纳米科技

型号：KR200MHC实验机

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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电子束曝光系统
电子束曝光系统

品牌：国仪量子技术（合肥）股份有限公司

型号：EBL-8800

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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纳米划痕仪
纳米划痕仪

品牌：Anton Paar TriTec SA

型号：Step 301

产地：瑞士

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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离子束溅射沉积
离子束溅射沉积

品牌：合肥铠柏科技有限公司

型号：IBSD-36

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机
基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机

品牌： SENTECH仪器（德国）有限公司

型号：SI500

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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飞秒激光加工系统
飞秒激光加工系统

品牌：Femto systems OU

型号：FemtoLAB

产地：爱沙尼亚

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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