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高真空镀膜系统
高真空镀膜系统

品牌:Kurt J.Lesker Company

型号:Lab 18

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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化学气相薄膜沉积系统
化学气相薄膜沉积系统

品牌:RCH

型号:5604

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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快速热处理系统
快速热处理系统

品牌:Qualiflow therm

型号:JetFirst200

产地:法国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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电子束曝光系统
电子束曝光系统

品牌:Raith

型号:Pioneer two

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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CNC精密加工系统
CNC精密加工系统

品牌:Hurco

型号:VM10Ui

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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精密激光加工系统
精密激光加工系统

品牌:德龙激光

型号:UP-D

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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激光共聚焦
激光共聚焦

品牌:Zeiss

型号:LSM 900

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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无掩膜激光直写光刻机
无掩膜激光直写光刻机

品牌:Heidelberg

型号:DWL66+

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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等离子体增强原子层沉积系统
等离子体增强原子层沉积系统

品牌:Picosun

型号:R-200

产地:芬兰

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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匀胶机
匀胶机

品牌:苏州美图

型号:MT-RC-200

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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