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品牌：美国ABM公司
型号：ABM/8/500/DUV/DCCD/BSV/SA
产地：美国
学科领域： 工程与技术科学基础学科
所属类别： 工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他
所属单位： 工程与材料科学实验中心
品牌：SAMCO.Inc.
型号：RIE-800iPB
产地：日本
学科领域： 信息与系统科学相关工程与技术
所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备
