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紫外光刻机
紫外光刻机

品牌:美国ABM公司

型号:ABM/8/500/DUV/DCCD/BSV/SA

产地:美国

学科领域: 工程与技术科学基础学科

所属类别: 工艺实验设备 -> 加工工艺实验设备 -> 其他

所属单位: 工程与材料科学实验中心

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ICP-RIE刻蚀系统
ICP-RIE刻蚀系统

品牌:SAMCO.Inc.

型号:RIE-800iPB

产地:日本

学科领域: 信息与系统科学相关工程与技术

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 工程与材料科学实验中心

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高分辨场发射透射电子显微镜系统
高分辨场发射透射电子显微镜系统

品牌:日本电子株式会社

型号:JEM-F200

产地:日本

学科领域: 材料科学

所属类别: 分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 其他

所属单位: 工程与材料科学实验中心

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