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高真空镀膜系统
高真空镀膜系统

品牌:Kurt J.Lesker Company

型号:Lab 18

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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化学气相薄膜沉积系统
化学气相薄膜沉积系统

品牌:RCH

型号:5604

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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快速热处理系统
快速热处理系统

品牌:Qualiflow therm

型号:JetFirst200

产地:法国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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电子束曝光系统
电子束曝光系统

品牌:Raith

型号:Pioneer two

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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CNC精密加工系统
CNC精密加工系统

品牌:Hurco

型号:VM10Ui

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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精密激光加工系统
精密激光加工系统

品牌:德龙激光

型号:UP-D

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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感应耦合等离子体干法刻蚀机
感应耦合等离子体干法刻蚀机

品牌:oxford

型号:Plasmapro 100Cobra180

产地:英国

学科领域: 物理学

所属类别: 其他仪器 -> 其他 -> 其他

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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膜厚测量仪
膜厚测量仪

品牌:Filmetrics,Inc.

型号:F40-UVX

产地:美国

学科领域: 物理学

所属类别: 其他仪器 -> 其他 -> 其他

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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激光共聚焦
激光共聚焦

品牌:Zeiss

型号:LSM 900

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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飞秒激光器系统
飞秒激光器系统

品牌:Light Conversion

型号:PHAROS

产地:立陶宛

学科领域: 电子与通信技术

所属类别: 分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 其他

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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