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氦离子显微镜
氦离子显微镜

品牌:卡尔蔡司

型号:ORION NanoFab

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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离子束减薄仪
离子束减薄仪

品牌:Leica Microsystems

型号:EM TIC3X

产地:中国香港

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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离子溅射镀膜系统
离子溅射镀膜系统

品牌:Kurt J.Lesker Company

型号:Lab 18

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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磁控溅射镀膜系统
磁控溅射镀膜系统

品牌:Kurt J. Lesker

型号:PVD75 Proline

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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探针测试系统
探针测试系统

品牌:keithley

型号:4200-SCS

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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热蒸发
热蒸发

品牌:亮杰科技

型号:TE-500H

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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桌面电子扫描显微镜
桌面电子扫描显微镜

品牌:Aglient Technologies Singapore(Sales) PTE.Ltd

型号:FESEM 8500

产地:新加坡

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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亚微米紫外光刻机
亚微米紫外光刻机

品牌:SUSS

型号:MA6/SB6

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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旋转匀胶机
旋转匀胶机

品牌:SUSS

型号:LabSpin6 TT

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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高精度电子束光刻机
高精度电子束光刻机

品牌:JEOL Ltd.

型号:JBX-300FS

产地:日本

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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