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原子层沉积系统
原子层沉积系统

品牌：Pisosun

型号：R200

产地：芬兰

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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光学数码显微镜
光学数码显微镜

品牌：Olympus

型号：DSX510

产地：日本

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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电子束蒸发镀膜系统
电子束蒸发镀膜系统

品牌：Kurt J. Lesker

型号：PVD75 Proline

产地：美国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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原子力显微镜
原子力显微镜

品牌：Bruker Nano Inc.

型号：Dimension Icon

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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椭偏仪
椭偏仪

品牌：SEMILAB

型号：RTES GES5E

产地：匈牙利

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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扫描探针显微镜
扫描探针显微镜

品牌：Bruker Nano Inc.

型号：Dimension Icon

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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薄膜应力仪
薄膜应力仪

品牌：FSM

型号：FSM500TC

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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反射式光谱膜厚仪
反射式光谱膜厚仪

品牌： Angstrom Sun

型号：SRM300-200

产地：美国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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LPCVD系统
LPCVD系统

品牌：RCH

型号：3600

产地：美国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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键合系统
键合系统

品牌：Karl SUSS

型号：SB6e

产地：德国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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