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热蒸发
热蒸发

品牌：亮杰科技

型号：TE-500H

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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亚微米紫外光刻机
亚微米紫外光刻机

品牌：SUSS

型号：MA6/SB6

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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旋转匀胶机
旋转匀胶机

品牌：SUSS

型号：LabSpin6 TT

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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电镜镀膜仪
电镜镀膜仪

品牌：Leica

型号：ACE600

产地：日本

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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高精度电子束光刻机
高精度电子束光刻机

品牌：JEOL Ltd.

型号：JBX-6300FS

产地：日本

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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扫描电子显微系统
扫描电子显微系统

品牌：Hitachi

型号：SU8220

产地：日本

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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气浮式烤胶机
气浮式烤胶机

品牌：Brewer

型号：Cee 10

产地：美国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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散射式近场光学显微镜
散射式近场光学显微镜

品牌：Neaspec GmbH Co.

型号：NeaSNOM 2-nd

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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光刻胶加热台
光刻胶加热台

品牌：SUSS

型号：HP8

产地：德国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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掩膜制版系统
掩膜制版系统

品牌：合肥芯硕半导体有限公司

型号：ATD 1500

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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