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紫外光刻机
紫外光刻机

品牌：SUSS

型号：MA6Gen4

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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扫描电子显微镜
扫描电子显微镜

品牌：国仪量子技术（合肥）股份有限公司

型号：SEM5000X

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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等离子体去胶机
等离子体去胶机

品牌：PVA TePla

型号：IoN Wave10

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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RTP快速退火炉
RTP快速退火炉

品牌：深圳市安芯诚电子科技有限公司

型号：RTP-Table-6

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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原子力显微镜3
原子力显微镜3

品牌：Bruker

型号：Dimension ICON

产地：马来西亚

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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3D打印系统
3D打印系统

品牌：深圳摩方新材科技有限公司

型号：nanoArch S140PRO

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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二次离子质谱
二次离子质谱

品牌：CAMECA

型号：IMS 7FAuto

产地：法国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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磁控溅射M600
磁控溅射M600

品牌：北京维开科技

型号：M600

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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有机CVD
有机CVD

品牌：苏州凯瑞纳米科技

型号：KR200MHC实验机

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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