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离子束溅射镀膜机
离子束溅射镀膜机

品牌:埃德万斯

型号:LDK-150

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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离子注入
离子注入

品牌:中电科

型号:M56100-100/UM

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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手动划片机
手动划片机

品牌:UniTemp

型号:RV129

产地:德国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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微波等离子体气相沉积系统
微波等离子体气相沉积系统

品牌:SEKI

型号:AX5350

产地:日本

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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晶圆划片及清洗
晶圆划片及清洗

品牌:AdvancedDicing Tech

型号:ADT7100

产地:以色列

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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化学气相沉积系统
化学气相沉积系统

品牌:牛津仪器

型号:PECVD100

产地:英国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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聚焦离子_电子双束系统
聚焦离子_电子双束系统

品牌:FEI

型号:Helios650

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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探针式表面轮廓仪
探针式表面轮廓仪

品牌:KLA-Tencor

型号:P-17

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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氦离子显微镜
氦离子显微镜

品牌:卡尔蔡司

型号:ORION NanoFab

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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离子束减薄仪
离子束减薄仪

品牌:Leica Microsystems

型号:EM TIC3X

产地:中国香港

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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