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原子力显微镜
原子力显微镜

品牌:Bruker Nano Inc.

型号:Dimension Icon

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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原子力显微镜
原子力显微镜

品牌:美国bruker公司

型号:Dimension Icon

产地:美国

学科领域: 材料科学

所属类别: 分析仪器 -> 显微镜及图像分析仪器 -> 扫描探针显微镜

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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薄膜应力仪
薄膜应力仪

品牌:FSM

型号:FSM500TC

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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LPCVD系统
LPCVD系统

品牌:RCH

型号:3600

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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离子注入
离子注入

品牌:中电科

型号:M56100-100/UM

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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晶圆划片及清洗
晶圆划片及清洗

品牌:AdvancedDicing Tech

型号:ADT7100

产地:以色列

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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化学气相沉积系统
化学气相沉积系统

品牌:牛津仪器

型号:PECVD100

产地:英国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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聚焦离子_电子双束系统
聚焦离子_电子双束系统

品牌:FEI

型号:Helios650

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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探针式表面轮廓仪
探针式表面轮廓仪

品牌:KLA-Tencor

型号:P-17

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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氦离子显微镜
氦离子显微镜

品牌:卡尔蔡司

型号:ORION NanoFab

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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