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失效分析系统
失效分析系统

品牌:Nordson

型号:Dage Quadra 7

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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X射线显微系统
X射线显微系统

品牌:Zeiss

型号:Xradia 520 Versa

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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ICP低温刻蚀系统
ICP低温刻蚀系统

品牌:xford instruments Plasma Technology

型号:Estrelas 100

产地:英国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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氧化硅湿法刻蚀台
氧化硅湿法刻蚀台

品牌:CETC

型号:SKT-4

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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氮化硅湿法刻蚀台
氮化硅湿法刻蚀台

品牌:CETC

型号:SKT-6

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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金属湿法刻蚀台
金属湿法刻蚀台

品牌:CETC

型号:SKT-4

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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高真空镀膜系统
高真空镀膜系统

品牌:Kurt J.Lesker Company

型号:Lab 18

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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化学气相薄膜沉积系统
化学气相薄膜沉积系统

品牌:RCH

型号:5604

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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电子束曝光系统
电子束曝光系统

品牌:Raith

型号:Pioneer two

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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CNC精密加工系统
CNC精密加工系统

品牌:Hurco

型号:VM10Ui

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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