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电镜镀膜仪
电镜镀膜仪

品牌：Leica

型号：ACE600

产地：日本

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所属单位： 微纳研究与制造中心

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高精度电子束光刻机
高精度电子束光刻机

品牌：JEOL Ltd.

型号：JBX-6300FS

产地：日本

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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扫描电子显微系统
扫描电子显微系统

品牌：Hitachi

型号：SU8220

产地：日本

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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气浮式烤胶机
气浮式烤胶机

品牌：Brewer

型号：Cee 10

产地：美国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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散射式近场光学显微镜
散射式近场光学显微镜

品牌：Neaspec GmbH Co.

型号：NeaSNOM 2-nd

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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光刻胶加热台
光刻胶加热台

品牌：SUSS

型号：HP8

产地：德国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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掩膜制版系统
掩膜制版系统

品牌：合肥芯硕半导体有限公司

型号：ATD 1500

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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引线键合机
引线键合机

品牌：West Bond

型号：747677E

产地：美国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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纳米压印
纳米压印

品牌：ObducatTechnologies AB公司

型号：EitreR6

产地：瑞典

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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紫外光刻系统
紫外光刻系统

品牌：Nikon

型号：NSR-2005i10C

产地：日本

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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