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失效分析系统
失效分析系统

品牌：Nordson

型号：Dage Quadra 7

产地：美国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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X射线显微系统
X射线显微系统

品牌：Zeiss

型号：Xradia 520 Versa

产地：德国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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ICP低温刻蚀系统
ICP低温刻蚀系统

品牌：xford instruments Plasma Technology

型号：Estrelas 100

产地：英国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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晶圆旋转热氮烘干机
晶圆旋转热氮烘干机

品牌：CETC中国电子科技集团第二研究所

型号：Semitool 870s

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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硅湿法刻蚀台
硅湿法刻蚀台

品牌：CETC

型号：SKT-4

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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氧化硅湿法刻蚀台
氧化硅湿法刻蚀台

品牌：CETC

型号：SKT-4

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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氮化硅湿法刻蚀台
氮化硅湿法刻蚀台

品牌：CETC

型号：SKT-6

产地：中国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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金属湿法刻蚀台
金属湿法刻蚀台

品牌：CETC

型号：SKT-4

产地：中国

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

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高真空镀膜系统
高真空镀膜系统

品牌：Kurt J.Lesker Company

型号：Lab 18

产地：美国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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化学气相薄膜沉积系统
化学气相薄膜沉积系统

品牌：RCH

型号：5604

产地：美国

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

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