学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,信息与系统科学相关工程与技术

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 电子与通信技术

所属类别： 分析仪器 -> 电子光学仪器 -> 其他

所属单位： 综合科研仪器共享中心

学科领域：

所属类别： -> ->

所属单位： 微纳研究与制造中心

学科领域： 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别： 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位： 微纳研究与制造中心