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电子束光刻系统
电子束光刻系统

品牌:Raith

型号:Pioneer two

产地:德国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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HMDS烘箱
HMDS烘箱

品牌:合肥真萍

型号:MD-40

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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CNC精密加工系统
CNC精密加工系统

品牌:Hurco

型号:VM10Ui

产地:美国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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电热恒温真空干燥箱
电热恒温真空干燥箱

品牌:力辰仪器

型号:DZF-6020AB

产地:中国

学科领域:

所属类别: -> ->

所属单位: 微纳研究与制造中心

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精密激光加工系统
精密激光加工系统

品牌:德龙激光

型号:UP-D

产地:中国

学科领域: 力学,物理学,化学,材料科学

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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感应耦合等离子体干法刻蚀机
感应耦合等离子体干法刻蚀机

品牌:oxford

型号:Plasmapro 100Cobra180

产地:英国

学科领域: 物理学

所属类别: 其他仪器 -> 其他 -> 其他

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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膜厚测量仪
膜厚测量仪

品牌:Filmetrics,Inc.

型号:F40-UVX

产地:美国

学科领域: 物理学

所属类别: 其他仪器 -> 其他 -> 其他

所属单位: 综合科研仪器共享中心

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通风厨1
通风厨1

品牌:德国

型号:EFA-5UDRVW-8

产地:德国

学科领域: 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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通风厨3
通风厨3

品牌:德国

型号:EFA-5UDRVW-8

产地:德国

学科领域: 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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光刻显微镜
光刻显微镜

品牌:德国

型号:DM8000M

产地:德国

学科领域: 物理学,化学,工程与技术科学基础学科,核科学技术

所属类别: 工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 半导体集成电路工艺实验设备

所属单位: 微纳研究与制造中心

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